淄博國家高新區(qū)MEMS研究院于2010年由淄博高新區(qū)與清華大學(xué)機械工程學(xué)院合作共建,致力于建設(shè)運營國內(nèi)首條6英寸硅基MEMS中試代工線,引進培養(yǎng)MEMS專業(yè)人才,推進MEMS技術(shù)和產(chǎn)品在淄博的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,帶動我國MEMS產(chǎn)業(yè)及其相關(guān)的先進制造、電子信息和新材料等產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。 為推動MEMS科技成果轉(zhuǎn)化,研究院投資組建了國有控股公司——山東博華電子科技發(fā)展有限公司。公司集中了國內(nèi)專業(yè)從事MEMS工藝和傳感器設(shè)計的專家人才,專門從事MEMS微型傳感器的研發(fā)與生產(chǎn),是山東省第一家采用MEMS技術(shù)中試生產(chǎn)微型傳感器的企業(yè)。
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