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淄博國家高新區(qū)MEMS研究院于2010年由淄博高新區(qū)與清華大學(xué)機械工程學(xué)院合作共建,致力于建設(shè)運營國內(nèi)首條6英寸硅基MEMS中試代工線,引進培養(yǎng)MEMS專業(yè)人才,推進MEMS技術(shù)和產(chǎn)品在淄博的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,帶動我國MEMS產(chǎn)業(yè)及其相關(guān)的先進制造、電子信息和新材料等產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。
  研究院聘請中國工程院院士尤政教授擔(dān)任院長,設(shè)有“精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心MEMS分中心”和“智能微系統(tǒng)教育部重點實驗室MEMS分實驗室”等機構(gòu),可提供MEMS器件設(shè)計、中試、代工和檢測分析等專業(yè)服務(wù),并具備知識產(chǎn)權(quán)、標準化等公共服務(wù)。

  為推動MEMS科技成果轉(zhuǎn)化,研究院投資組建了國有控股公司——山東博華電子科技發(fā)展有限公司。公司集中了國內(nèi)專業(yè)從事MEMS工藝和傳感器設(shè)計的專家人才,專門從事MEMS微型傳感器的研發(fā)與生產(chǎn),是山東省第一家采用MEMS技術(shù)中試生產(chǎn)微型傳感器的企業(yè)。






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