淄博高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院 簡介
淄博高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院由淄博高新區(qū)管委會與清華大學機械工程學院于2010年11月共同建設,是微機電制造領域國內(nèi)第一個校地共建研究院,是全國微納制造、器件與系統(tǒng)協(xié)同創(chuàng)新中心成員單位。研究院聘任中國工程院院士、清華大學副校長尤政擔任院長。
MEMS研究院投資建設了國內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺,超凈規(guī)模國內(nèi)一流;配備了國際一流設備的中試代工線,中試生產(chǎn)能力可達月產(chǎn)傳感器十萬只,產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)先進水平。
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